技术编号:7043451
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种,包括提供衬底,在所述衬底上形成磁性材料层;在所述磁性材料层上形成高阻阻挡层;形成图案化的磁性材料层和图案化的高阻阻挡层。采用本发明的方法形成的磁感应器的各向异性磁电阻相对变化率高。专利说明 [0001]本发明涉及半导体领域,尤其涉及。背景技术[0002]磁感应器可以用来感应外部磁场(例如地磁)的分量,已经广泛的应用于汽车、自动化、医疗与电子罗盘等领域,例如,目前几乎每一只智能手机都有电子罗盘。当磁感应器感应地磁时需要很高的各向异性磁电阻相对变化率(d...
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