技术编号:7043572
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,该方法包括取在蓝宝石衬底上生长了氮化镓薄膜的外延片;在氮化镓薄膜的表面沉积过渡层;在过渡层表面制作转移衬底;以及采用步进扫描方式的长条形激光光斑扫描照射整个抛光过的蓝宝石衬底的背面,实现蓝宝石衬底与氮化镓薄膜的整体分离。本发明采用长条形平顶激光光斑进行扫描,既能保证剥离大面积的氮化镓薄膜样品无裂纹,又能获得可接受的加工速率。本发明尤其对目前氮化镓基垂直结构发光二极管、氮化镓单晶的制造工艺的进步具有十分重要的作用。专利说明[0001]本发明属于...
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