阻变存储器及其制造方法技术资料下载

技术编号:7043725

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本发明属于半导体集成电路及其制造,具体涉及一种。背景技术所谓的“阻变存储器(RRAM) ”,是一种利用电阻变化实现高速度(< 5ns)、低操作电压(< IV)工作,并具有高存储密度、易于集成等优点的新型非挥发性存储器。RRAM器件一般具有电极-绝缘体-电极的结构,即在两层电极之间加入一层具有阻变特性的介质薄膜材料,这些阻变材料一般是过渡金属氧化物,常见的有NiO,TiO2, HfO2, ZrO2, W03,Ta2O5等等。RRAM器件的工作方式...
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