技术编号：7044275
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供在基板的干燥时能够使表面上的液体瞬时干燥的。在基板处理装置（10）中包括对基板（W）的表面进行干燥的加热干燥机构（103），上述加热干燥机构（103）从下侧对基板（W）的在铅垂方向上朝向下方配置的表面进行加热，使通过加热作用在基板（W）的表面生成的挥发性溶剂的液珠利用重力落下除去，对基板的表面进行干燥。专利说明 [0001] 本发明涉及。 背景技术 [0002] 基板处理装置是在半导体等的制造工序中，向晶片或液晶基板等基板的表面供给 处...
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