技术编号：7044338
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供可以降低压电薄膜层的相对介电常数的压电薄膜元件、压电传感器和振动发电机。压电薄膜元件（1）具备基板、形成于基板上的下部电极层（20）、形成于下部电极层（20）上的组成式为（K1-xNax）NbO3（0.4≤x≤0.7）的钙钛矿结构的铌酸钾钠的压电薄膜层（30）、以及形成于压电薄膜层（30）上的上部电极层（40），压电薄膜层（30）在将极化-电场的磁滞回线与表示电场的x轴的交点设为Ec-和Ec+时，（Ec-+Ec+）/2的值为10.8kV/cm以上...
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