技术编号:7044435
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微纳光电子与激光技术以及光电子集成领域,提出一种适用于片上集成的共面电极电注入表面等离子微纳结构波导输出激光源,包括半导体有源层、绝缘介质层、金属薄膜层,金属薄膜层与半导体有缘层之间间隔所述绝缘介质层,金属薄膜层上形成有金属条形波导,在半导体有源层上制作有半导体条形波导以及两个载流子注入区,金属条型波导与半导体条型波导相垂直,在交叉处的MIS结构中形成表面等离子体亚波长腔。两个载流子注入区位于所述金属条形波导的正上方,作为亚波长腔的一部分;半导体...
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