技术编号:7044554
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是砷化镓基外延层剥离转移的方法,1)稀释的盐酸清洗砷化镓基外延片和临时衬底表面;2)砷化镓基外延片正面旋涂光刻胶;3)砷化镓基外延片正面朝上放热板上烘烤;4)冷却后与临时衬底正面相对键合;5)将砷化镓基外延片砷化镓衬底去除;6)稀释的盐酸清洗目标衬底和以临时衬底为支撑的外延片表面;7)以临时衬底为支撑的外延片正面旋涂BCB;8)以临时衬底为支撑的外延片正面朝上放在热板上烘烤;9)冷却后与目标衬底正面相对键合;10)将键合完的圆片浸泡在丙酮中,待光刻胶...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。