技术编号:7044765
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种基于GaN基异质结构的二极管,包括一衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一异质结构势垒层,其制作在缓冲层上;与缓冲层形成二维电子气的异质结构外延层;一P型盖帽层,其制作在异质结构势垒层上,其两侧形成台面;一欧姆接触阳极,其制作在异质结构势垒层上,位置在紧挨着台面的一侧;一欧姆接触阴极,其制作在异质结构势垒层上,且远离P型盖帽层的另一侧的台面上;一肖特基阳极,其制作在P型盖帽层和欧姆接触阳极上;一第一电极,其制作在肖特基接触上;一第二电极,其制作在欧姆...
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