技术编号:7045037
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种至少包括下列步骤。(1)利用第一对位记号与第二对位记号量测出第一膜层图案与第二膜层图案之间的第一偏移值D1。(2)利用第一偏移值D1计算出第一虚拟原点值O1。(3)利用第二对位记号与第一罩幕对位记号量测出第二膜层图案与第一罩幕图案之间的第二偏移值D2。(4)利用第一虚拟原点值O1与第二偏移值D2计算出第一罩幕图案与第一虚拟原点之间的第三偏移值D3。(5)判断第三偏移值D3是否在规格值的范围内。专利说明[0001]本发明是有关于一种。背景技术[0002]...
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