掩模盒、搬送装置、曝光装置、掩模搬送方法及器件制造方法技术资料下载

技术编号:7045439

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本发明提供一种掩模盒,其是收纳掩模的掩模盒C,在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部,具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件,搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52,其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件,并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。专利说明[0001]本申请是2010年3月26日向中国国家专利局提出的申请号为200880108833.2、发明名称为“”这一申请的分案申请。[00...
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