技术编号：7045549
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种。所述组合薄膜制备装置包括移动掩膜板、靶材基座和衬底基座；所述移动掩膜板为具有第一轴线的圆筒形，所述移动掩膜板根据控制围绕所述第一轴线旋转；所述移动掩膜板设置有至少一个掩膜图案窗口；所述靶材基座用于固定靶材，所述靶材基座固定地或可移动地设置于所述移动掩膜板的内侧；所述衬底基座用于固定沉积组合薄膜的介质衬底，所述衬底基座设置于所述移动掩膜板的外侧，并与所述靶材基座相对。本发明的可以形成组分呈现直线梯度变化的组合薄膜。专利说明[0001]本发明涉...
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