技术编号:7046345
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种弹性微桥式RF?MEMS开关,包括衬底、位于衬底上的缓冲介质层、接地线、共面波导传输线、锚点、绝缘介质层、弹性折叠梁、上电极,所述接地线、共面波导传输线、锚点设于缓冲介质层上,所述绝缘介质层覆于所述共面波导传输线上,所述上电极分为驱动电极板和电容上极板,所述驱动电极板位于所述电容上极板两侧,所述驱动电极板和电容上极板之间通过双直梁连接;所述弹性折叠梁一端与锚点连接,一端与驱动电极板侧面连接,所述弹性折叠梁弯曲形状为n形、弯曲个数为2个、套数为2个。通过...
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