技术编号:7046398
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,磁场探测器的制备方法包括以下步骤采用磁控溅射或电子束蒸镀方法,在基片上依次沉积底电极、铁磁层、非磁性层和顶电极,得到多层膜结构;采用紫外曝光和氩离子刻蚀工艺,将得到的多层膜结构加工成一十字形结构。本发明制备得到的磁场探测器包括基片、底电极、铁磁层、非磁性层和顶电极,基片采用十字形结构,底电极、铁磁层、非磁性层和顶电极依次沉积在基片上,且形状均与基片的形状呈匹配设置;铁磁层由垂直磁化膜构成,非磁性层由反铁磁层或氧化层构成,底电极和顶电极均采用Pt...
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