技术编号：7046821
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种抗腐蚀的晶圆清洗装置，涉及半导体加工制造领域，包括用于承载晶圆的卡盘以及与卡盘可拆卸连接的腔体，所述卡盘上设有与所述腔体贯通的卡盘锁孔，所述腔体内沿轴向设有一条或多条与卡盘锁孔相通的气体通道，所述气体通道依次连接抽气管路和抽气装置，所述抽气管路上设有控制所述抽气装置开关的阀,打开抽气装置，所述卡盘内的气体通过卡盘锁孔进入气体通道以及抽气管路被抽离出所述卡盘。本发明通过增设抽气管路和抽气装置从而及时将晶圆清洗设备内滞留的酸气排出，防止装置内的...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。