技术编号：7047712
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种支承基板的支承单元。该支承单元包括本体和加热单元，其中，该本体包括多个加热区域，并且在该本体的顶部表面上设置有基板，该加热单元加热本体。此处，加热单元包括加热线路、端子以及连接线路，其中，该加热线路分别设置在所述多个加热区域中以彼此独立地控制所述多个加热区域的温度，该端子设置至本体并接收来自外部的电力，该连接线路将加热线路彼此互相对应地连接至端子。另外，端子在俯视图中设置在所述多个加热区域中的一个加热区域中。专利说明支承单元和基板处理设备 ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。