技术编号:7048199
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及晶圆盒。特别是涉及一种应用了轻量化及具有充足强度的轻量支承杆,而且可以采用组装方式来结合轻量支承杆与端板的晶圆盒。背景技术晶圆经过例如进料检查(materialinbound inspection)、研磨(grinding)、粘合(glueing)、切割(sawing)、分离(seperation)、洗净(cleaning)、测试(testing)等制造工序,这种晶圆制造工序由于是在使晶圆移动的同时进行,因此需要保障面对外部环境的物理、化学稳定性...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。