技术编号：7048241
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开的具有石墨烯的互连线，在绝缘基板上自下而上依次有石墨烯层和铜导电层。其制备步骤包括将石墨烯转移到经清洗的绝缘基板上，使用光刻的方法对石墨烯进行图形化，然后通过电镀的方法在该石墨烯上形成铜导电层。本发明的互连线以石墨烯作为导电层的扩散势垒层，降低了扩散势垒层的厚度，有利于器件的小型化，并可降低导电层的表面粗糙度，提高其电导。石墨烯既作为金属化层，又作为导电层的扩散势垒层，简化了制备工艺。专利说明[0001]本发明涉及一种互连线及其制备方法，尤其涉及...
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