技术编号:7048354
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,其特征在于在双面抛光的石英基片上,通过磁控溅射、光刻、电镀、刻蚀、划片等工艺,获得低损耗、一致性好的石英探针。本发明所述的石英探针,具有硬度高、损耗低、精度高的优点。该方法加工一致性好,便于批量化生产,特别适用于微波、毫米波功率放大器中的应用,属于实现高频功率模块的关键技术。专利说明[0001]本发明属于实现低损耗微波、毫米波电路关键,具体涉及一种适用于低损耗石英探针的制备方法。背景技术[0002]随着电子产品的发展,模块的工作频率不断提高。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。