技术编号:7048478
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种具有精确检测功能的IGBT及其制造方法。所述IGBT器件包括主器件区域、被主器件区域包围的检测区域、隔离主器件区域和检测区域的隔离区域。所述IGBT检测区域栅电极通过隔离区域栅电极与主器件区域栅电极相连;第二导电类型隔离区域体区与第二导电类型主器件区域体区及第二导电类型检测区域体区均无电性连通;第二导电类型隔离区域体区与主器件区域发射极金属和检测区域发射极金属均无电性连通;第二导电类型隔离区域体区结深等于或大于第二导电类型主器件区域体区结深。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。