技术编号：7048576
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学底板镜。描述集成电路光学底板芯片和相关的半导体制作工艺以用于形成光学底板镜结构，其中镜结构通过使用依赖方向的各向异性湿蚀刻工艺选择性地刻蚀位于光学底板芯片晶圆上的光学波导半导体层(103)将光学信号垂直地偏转到光学底板芯片的平面外，来形成带有位于光学波导半导体层上的成角度的半导体侧壁表面(106)的第一凹口(107)，其中成角度的半导体侧壁表面(106)被处理以形成用于将光学信号垂直地偏转到光学波导半导体层的侧面或从侧面偏转的光学底板镜(11...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。