技术编号：7048799
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种ITO基底的制作方法，包括提供一ITO基底，所述ITO基底包括玻璃衬底，玻璃衬底上方的ITO薄膜；对所述ITO基底表面进行氯化处理。所述氯化处理采用含氯气体的低能等离子体。所述氯化处理过程中在ITO薄膜表面形成强化学键In-Cl。专利说明一种ITO基底的制作方法、OLED装置及其制作方法 [0001]本发明涉及有机发光器件，特别涉及一种ITO基底的处理方法、OLED装置及其制作方法。 背景技术 [0002]近年来有机发光二极管(OL...
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