技术编号:7049389
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种薄膜晶体管阵列构件、其制造方法及阵列基板。该薄膜晶体管阵列的制造方法通过三次掩膜工艺并同时图案化形成薄膜晶体管和电容器的各层,其中第一次掩膜工艺采用了半色调掩膜工艺。上述方法通过半色调掩膜工艺减少光罩,简化工艺流程,缩短薄膜晶体管阵列构件制造周期。本发明还披露了用上述方法制得的薄膜晶体管阵列构件和包括该方法制得的薄膜晶体管阵列构件的阵列基板,缩短了其制造周期以及降低了制造成本。专利说明薄膜晶体管阵列构件、其制造方法及阵列基板[0001]本发...
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