技术编号:7049625
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测装置、其制造方法和放射线检测系统。提供了包含像素的检测装置的制造方法。该方法包括在基板之上形成有机绝缘层,所述基板之上形成有开关元件;在有机绝缘层之上形成对于各个像素分割的像素电极;在有机绝缘层的未覆盖有像素电极的部分之上形成无机材料部分;形成覆盖所述多个像素电极和无机材料部分的无机绝缘膜;形成覆盖无机绝缘膜的半导体膜;以及通过使用无机材料部分与无机绝缘膜的叠层结构作为蚀刻阻止体进行蚀刻,对于各个像素分割半导体膜。专利说明检测装置、其制造方法...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。