技术编号:7049943
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。立柱式陶瓷环定位用销,主要解决陶瓷环因没有固定,容易出现偏移而导致晶圆也出现偏移的问题。本发明是通过在圆周上均匀分布的三个或多个定位销,来实现对陶瓷环的定位。具体结构陶瓷环镶嵌在铝制加热盘的外缘,它与加热盘的接触面是平面。在加热盘凸台面上,加工三个或多个销孔,按圆周均匀分布。陶瓷定位销为圆柱结构,直接镶嵌到加热盘上的销孔内。其底面与加热盘上销孔的底面配合,其上表面高出加热盘凸台表面一定距离。与之对应的在陶瓷环的背面位置,有相应的凹槽,其与销相配合,在圆周上...
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