技术编号:7050526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明揭示了一种通过优化外延腔体温度分布改善外延层错的方法,包括步骤一提供至少一衬底,所述衬底中具有掺杂元素;步骤二将所述衬底放入一外延腔体中,在所述衬底表面生长一外延层,通过高温生长外延时激活衬底杂质,在所述生长过程中,所述衬底不转动;步骤三检测所述外延层的表面方块电阻值的分布情况;步骤四根据所述表面方块电阻值的分布情况判断所述外延腔体的温度分布情况。根据所述外延腔体的温度分布情况,可以得到所述外延腔体内各区域的温度,从而可以针对所述外延腔体内各区域分别...
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