技术编号:7050547
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于激光诱导晶化的新型非晶硅薄膜太阳能电池器件,属无机材料太阳能器件制备的工艺。光学薄膜包括减反膜、增透膜、增反膜等,本发明主要通过控制晶粒大小,来达到调制光学薄膜层的增反和增透功能。本发明方法特征在于通过等离子体化学气相沉积法(PECVD)在氧化铟锡(ITO)导电玻璃上沉积三层分别为p型、i型和n型的非晶硅(a-Si)薄膜,然后使用波长为532nm的倍频掺钕钇铝石榴石(NdYAG)激光辐照样品表面,来实现n型和p型层由非晶硅转变为多晶硅(p...
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