薄膜晶体管及其制作方法、oled背板和显示装置制造方法技术资料下载

技术编号:7050586

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本发明实施例公开了一种薄膜晶体管及其制作方法、OLED背板和显示装置,涉及显示领域,能够有效减少铝膜表面小丘(hillock)的产生,提高有源层性能的稳定性,并且降低产品的功耗。本发明的实施例提供一种薄膜晶体管,包括栅电极、栅绝缘层、有源层、源电极和漏电极,其中,所述栅电极形成于基板和所述栅绝缘层之间,所述栅电极和所述基板之间设置有第一过渡层,所述第一过渡层形成材料的热膨胀系数介于所述基板的形成材料的热膨胀系数和所述栅电极的形成材料的热膨胀系数之间;且,所...
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