带有集成肖特基二极管的mosfet的制作方法技术资料下载

技术编号:7051358

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本发明的各个方面提出了一种肖特基结构,其中两个沟槽形成在半导体材料中。沟槽通过台面结构相互间隔开。每个沟槽都有第一和第二导电部分,内衬第一和第二侧壁。第一和第二部分导电材料在每个沟槽中相互电绝缘。肖特基接头形成在最外面的导电部分之间的任意位置。肖特基结构形成在器件晶片的有源区或端接区中。要强调的是,本摘要必须使研究人员或其他读者快速掌握技术说明书的主旨内容,本摘要符合以上要求。应明确,本摘要将不用于解释或局限权利要求书的范围或意图。专利说明带有集成肖特基二...
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