技术编号:7052314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了。该方法选用具有各向异性热膨胀系数的衬底,首先沿热膨胀系数的绝对值较大的方向对该衬底施加一定的与热膨胀方向相反的应变,且所述的应变值大于当温度从室温下降到磁性薄膜最低工作温度时衬底所产生的应变值,在该应变保持条件下在衬底表面生长磁性薄膜,待磁性薄膜生长完毕后撤去该应变,即得到磁各向异性的磁性薄膜。随着温度的增加,该磁性薄膜材料的磁各向异性增加,即具有正磁各向异性温度系数,对于提高磁性薄膜器件的热稳定性具有重要的意义。专利说明 [0001]...
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