技术编号:7053962
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置,所述方法包括形成所述多晶硅薄膜晶体管的栅电极、栅绝缘层、半导体层、源电极和漏电极,存储电容的第一电极和第二电极,以及栅线和数据线的步骤,该步骤中,通过一次构图工艺形成所述半导体层及所述存储电容的第一电极;通过一次构图工艺形成所述栅电极、栅线及所述存储电容的第二电极。使用本发明的方案能够降低掩膜板的使用数量,使得工艺简化,降低了生产成本。专利说明—种多晶硅薄膜晶体管阵列基板及其制备方法、显示装置 ...
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