技术编号:7054129
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种衬底固持模块和包含所述衬底固持模块的衬底处理设备,所述衬底固持模块,包含固持器,具有固持衬底的表面;固持卡盘,插入在所述固持器中以固持所述衬底;弹性变形膜片,安装在固持所述衬底的所述固持卡盘的表面上;以及移动构件,设置在所述固持器中,其中所述移动构件的一端连接到所述固持卡盘,且所述移动构件在与所述弹性变形膜片的变形方向相反的方向上移动所述固持卡盘。当所述弹性变形膜片膨胀时,所述固持卡盘由所述移动构件向后移动,进而容易从所述固持卡盘移除所述衬底...
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