技术编号:7054210
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。提供了薄膜晶体管(TFT)、其制造方法以及制造平板显示器(FPD)背板的方法。本发明实施方案的制造TFT的方法包括在衬底上形成栅电极;在所述衬底上形成绝缘层以覆盖所述栅电极;使用卤素气体,对所述绝缘层的上表面进行等离子处理;在所述绝缘层上形成氧化物半导体层并定位为与所述栅极对应;以及在所述绝缘层上和部分所述氧化物半导体层之上形成源极和漏极。专利说明[0001]相关申请[0002]本申请要求于2013年7月26日向韩国知识产权局提交的第10-2013-008...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。