技术编号:7054358
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种SRAM检测结构、版图及其形成方法。SRAM检测结构版图的形成方法,其从平面版图设计角度出发,包括根据SRAM芯片版图的规律性,确定一第一金属层图形中需要连接的部分以及不需要连接的部分;断开所述一第一金属层中不需要连接的部分,通过增加另一金属层图形使所述一第一金属层中连接的部分连接起来;以所述一第一金属层层和第一连接通孔为基础,重新设计第二金属层图形,以连接相邻的所述第一连接通孔。本发明避免了层间介质层CMP工艺后因为底层结构的差异会导致S...
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