技术编号:7054733
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种太阳能电池扩散工艺,依次包括以下步骤将硅片放置在扩散炉中,在800℃以下以300-600sccm的速率通入氧气8-20min;用5-20min将炉内温度升至830-840℃,整个升温过程中持续通入流量比为15~17的氧气和氮气;保持炉内温度为830-840℃,继续通入流量比为15~17的氧气和氮气5-20min;保持炉内温度为830-840℃时间为5-10min后将炉内温度降至常温并取出硅片测其方块电阻。本发明步骤2和3中的氧气和氮气的比例...
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