技术编号：7054848
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于将板状的加工对象物沿着切割预定线切割的。 背景技术作为现有的，已知有通过将聚焦点对准板状加工对象物的内部来照射激光，从而沿着加工对象物的切割预定线，在加工对象物的内部形成多列成为切割的起点的改质区域的方法(例如，参照日本开2004-343008号公报)。发明内容但是，如上所述的，例如由于加工对象物的厚度和劈开性等，有可能不能将加工对象物精度良好地切割。于是，本发明的课题是，提供能够进行沿着切割预定线的加工对象物的高精度的切割的以及通过使用这样...
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