技术编号:7055867
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,包括采用不同试剂对锗片表面进行清洗,有效除去锗表面污物以及表层氧化层,实现锗表面的初步氯化;然后采用乙醇和水的混合液配制硫醇试剂,采用适当加热的钝化条件在锗表面得到自组装膜。本发明具有操作简单、使用方便、成本低廉、钝化效果明显等优点。专利说明 [0001]本发明属于锗材料表面处理领域,特别涉及。 背景技术 [0002]目前半导体材料的电子器件因其高灵敏度与优良的选择性使其在生物传感应用中得到了快速发展。作为一种典型的半导体材料,基于硅...
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