技术编号：7056583
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种，深槽刻蚀设备具有晶圆手指、静电吸附极板、手指安装环、晶圆支撑环和静电吸附极板支撑体；晶圆手指安装于晶圆支撑环上，晶圆手指在静电吸附极板支撑体由升起位置下降到降落位置时逐渐接触晶圆，静电吸附极板支撑体始终与深槽刻蚀设备的外壳相连接，外壳接地；其中，静电释放方法包括无论静电吸附极板支撑体处于升起位置还是降落位置，将晶圆支撑环与静电吸附极板支撑体之间始终保持电连接。本发明能够消除刻蚀工艺后在静电吸附极板和晶圆上产生的大量静电，避免因静电释放不干净...
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