成像装置和成像系统的制作方法技术资料下载

技术编号:7057022

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本发明涉及使用成像板的成像装置。背景技术使用具有大面积光电转换单元的光电检测器的超高感度成像装置正在被研究。成像器件的尺寸(入射面的面积)的增加使得能够在增加光电检测器的面积的同时实现足够的分辨率(即,实现的光电检测器的数量增加)。可通过在硅板或玻璃板中形成光电检测器以薄板状成像器件(成像板)的形式实现这种成像器件。现在,有效地使用保持板以确保大型、薄型的成像板的机械强度。日本专利公开No. 2006-302990公开了保持大面积成像板的基板(保持板),成...
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