技术编号:7057337
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种低电阻率P型铝镓氮材料及其制备方法,该制备方法包括对衬底升温,在氢气环境下热处理,去除衬底表面的杂质;在衬底上生长低温成核层,为后续生长材料提供成核中心;在低温成核层上生长一层非故意掺杂模板层;在非故意掺杂模板层上低温外延生长一层低碳杂质浓度的P型铝镓氮层;在氮气环境下,高温退火使P型铝镓氮层中受主激活,得到低电阻率P型铝镓氮材料。利用本发明,通过更改生长条件,降低低温生长的P型铝镓氮材料中非故意掺杂的碳杂质的浓度,从而减轻了受主补偿作用,...
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