技术编号:7058868
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种减压扩散工艺,它包括恒温降压过程、前氧化过程、升温过程、深扩散过程、磷推进过程、后氧化处理和降温升压过程。相对于常压扩散工艺,本发明的减压扩散工艺引入扩散过程中压力这个变量,降低扩散炉管内压力,同时调节温度、时间、气流量来使扩散方块电阻均匀性更好,所制备的电池片光电转换效率更高,同时提高设备单位时间的产量与节省扩散磷源的用量。专利说明-种制备高方阻电池片的减压扩散工艺 [0001] 本发明涉及半导体电子工艺特别是晶体硅太阳能电池生产专...
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