蚀刻、显影、清洗以及褪膜设备、喷淋处理设备及方法技术资料下载

技术编号:7058918

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种,该喷淋处理设备包括支撑装置和喷淋装置,支撑装置用于支撑待处理的基材,且支撑装置的支撑平面相对水平面倾斜设置,以使得基材与水平面成预定角度倾斜;喷淋装置用于向倾斜设置的基材喷淋处理液。通过上述方式,本发明能够提升处理液处理基材的均匀性。专利说明 [0001]本发明涉及喷淋处理,特别是涉及一种。 背景技术 [0002]现有的喷淋处理设备通常通过朝下喷淋处理液对水平移动的材料进行化学反应或清洗,处理液因重力作用在水平移动的基材上面形成...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。

详细技术文档下载地址↓↓

提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
该分类下的技术专家--如需求助专家,请联系客服
  • 贺老师:氮化物陶瓷、光功能晶体材料及燃烧合成制备科学及工程应用
  • 杨老师:工程电磁场与磁技术,无线电能传输技术
  • 许老师:1.气动光学成像用于精确制导 2.人工智能方法用于数据处理、预测 3.故障诊断和健康管理
  • 王老师:智能控制理论及应用;机器人控制技术
  • 李老师:1.自旋电子学 2.铁磁共振、电磁场理论
  • 宁老师:1.固体物理 2.半导体照明光源光学设计实践 3.半导体器件封装实践
  • 杨老师:1.大型电力变压器内绝缘老化机理及寿命预测 2.局部放电在线监测及模式识别 3.电力设备在线监测及故障诊断 4.绝缘材料的改性技术及新型绝缘材料的研究
  • 王老师:1.无线电能传输技术 2.大功率电力电子变换及其控制技术