技术编号：7059238
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及氧化物反相器的制备方法，尤其涉及。背景技术透明电子学是近期一个快速发展的领域。与传统的电子学器件相比，透明电子器件在面向消费者的许多应用领域，特别是在显示器件领域蕴藏着巨大的潜力。在有源矩阵液晶显示器(AMLCD)中，目前依旧采用非晶硅薄膜晶体管、多晶硅薄膜晶体管作为开关单元，但非晶硅薄膜晶体管迁移率低、光敏性强；多晶硅薄膜晶体管的大面积制作工艺复杂、 低温工艺难以实现，限制了它们在更广阔的范围中应用。透明氧化物薄膜晶体管的实现对透明电子学来说是...
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