技术编号：7060438
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例公开了一种产品制作过程中硅片表面的检测方法及系统。该方法包括获取用于制作产品的硅片的表面图像；根据所述表面图像确定所述硅片的表面类型；如果所述表面类型为无缺陷型，将所述硅片进行所述产品制作过程的下一步工序处理；如果所述表面类型为不可修复缺陷型，将所述硅片进行废弃处理；如果所述表面类型为可修复缺陷型，将所述硅片进行修复。本发明实施例中，不是将不合格的硅片进行废弃处理，而是对不合格的硅片中不可修复的硅片进行废弃处理，对可修复的硅片进行回收修复处理，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。