技术编号：7060602
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供可调谐的纳米天线，包括三层，上层的金属结构、中间层的单层石墨烯、底部的基底材料，上层的金属结构为蝴蝶结型结构，所述蝴蝶结型结构包括两个等腰梯形和一个正方形组成。可调谐的纳米天线的制备方法，包括如下步骤利用化学气相沉积法方法在SiO2-基底上覆盖一层单层石墨烯；在单层石墨烯表面旋涂光刻胶；用电子束刻蚀技术完成结构的刻蚀和显影；采用真空电子束蒸镀技术实现金层的蒸镀；经过lift-off过程得到最终的纳米光学天线。尺寸小该超材料结构厚度在几十纳米级别，...
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