技术编号:7060613
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,为改进的掩模板蒸镀法,其特征在于所述掩模板的开孔为圆孔。本发明提供的制作方法,克服了精细金属掩模板采用湿法刻蚀制备工艺的极限,通过简单的技术改进,即可在现有工艺和设备的基础上,生产出高分辨率的有机发光二极管显示器,具有显著的工业化应用价值。专利说明 [0001]本发明是涉及,属于发光二极管显示器制造。 背景技术 [0002]有机发光二极管显示器(OLED)是主动发光器件,相比现在的主流平板显示器件一一薄膜晶体管液晶显示器(TFT-1...
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