一种太阳能电池的背电极Mo薄膜及其制备方法技术资料下载

技术编号:7061506

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本发明属于光纤材料领域,提供了,所述太阳能电池的背电极Mo薄膜制备方法,首先,选择普通玻璃(载玻片)、钠钙玻璃或不锈钢为基体,将其进行洁净处理,并采用高纯氮气吹干备用,其次,采用磁控溅射法在基体上沉积一层金属层,然后再在金属层沉积Mo薄膜。该制备方法简单、易于操作、可重复性强和可精确控制Mo薄膜的厚度,同时,该方法制备的Mo薄膜具有膜基结合力高、电导率低的优点。专利说明 [0001]本发明属于薄膜太阳能电池,具体涉及。 背景技术 [0002]太阳...
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