基于mems开关的程控步进衰减器的制造方法技术资料下载

技术编号:7061823

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本发明涉及微波通讯领域中的衰减器,具体为基于MEMS开关的程控步进衰减器,包括三组T型网络衰减单元,三组T型网络衰减单元都包括衰减开关和短路开关,T型网络衰减单元还包括衰减模块,通过单片机控制衰减开关和短路开关的通断来对微波信号进行衰减。本发明提供的衰减器,以MEMS工艺为基础,可以做到更小的尺寸,适合更高的工作频段,与通用的IC工艺有着很好的兼容性;以MEMS开关作为切换器件,反应更灵敏,可靠性更高;通过调节波导长度与开关电容尺寸,可以在开关的不同状态下...
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