一种红色led芯片制程工艺中的电极制作方法技术资料下载

技术编号:7062447

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本发明公开了一种红色LED芯片制程工艺中的电极制作方法,将蒸镀完P面、N面的LED芯片置于黄光室内,在P面涂保护胶;在保护胶层上设置掩膜板,然后进行光照,形成保护层;进行显影定影,对P面的金属层进行蚀刻,形成P面的接触电极,并进行去胶清洗;在P面的接触电极上依次蒸镀钛层、铝层,形成P面的焊线电极;对P面的焊线电极涂保护胶;并进行显影定影后,将涂保护胶后的P面的焊线电极进行蚀刻,并进行去胶清洗;该方法提高了蚀刻的精度,保证了P面电极的质量。专利说明—种红色L...
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