技术编号:7062447
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种红色LED芯片制程工艺中的电极制作方法,将蒸镀完P面、N面的LED芯片置于黄光室内,在P面涂保护胶;在保护胶层上设置掩膜板,然后进行光照,形成保护层;进行显影定影,对P面的金属层进行蚀刻,形成P面的接触电极,并进行去胶清洗;在P面的接触电极上依次蒸镀钛层、铝层,形成P面的焊线电极;对P面的焊线电极涂保护胶;并进行显影定影后,将涂保护胶后的P面的焊线电极进行蚀刻,并进行去胶清洗;该方法提高了蚀刻的精度,保证了P面电极的质量。专利说明—种红色L...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。