技术编号：7062490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种包括步骤利用激光抛光扫描报废外延片的氮化镓来减薄氮化镓层；用浓盐酸与双氧水混合液清洗上述报废外延片；清除剩余的氮化镓，利用ICP刻蚀机在H2气氛的作用下，刻蚀经过清洗的报废外延片；或利用湿法腐蚀，用混合溶液腐蚀经过清洗的报废外延片；清洗干净得到再生的蓝宝石衬底。因本发明用激光抛光的方式，在不损伤蓝宝石的情况很容易减薄报废外延片的氮化镓层；经过清洗后再用干法腐蚀或湿法腐蚀将剩余部分的氮化镓层除去时，也不会损伤蓝宝石，而且成本低。因此本发明工艺...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。