技术编号:7062876
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了,通过改进现有的碳离子注入方法,在通入的CO2气体中加入H2,由于H2和CO2在离子注入腔室内碰撞分解成C+和H+,以及游离态的O和H原子,通过牵引电极的加速磁场将H+过滤掉,将C+加速注入到晶圆中,同时O和H反应可以生成H2O蒸汽,可以避免O和W反应;通过控制H2和CO2的流速可以避免离子注入腔室内W黏附物的形成,减少对腔体的腐蚀,保证束流的均一性和稳定性;同时,没有引入其他杂质元素,避免了对晶圆的污染。专利说明 [0001]本发明涉及...
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